常见问题汇总

发布日期:2018-12-26 作者:admin

一、洁净室洁净度不达标。
原因分析:
1.1、评估下洁净室的密封状况、清洁程度、设备运行状况及其运行时间。
1.2、分析洁净度测试报告,留意那些区域粒子超标,粒子粒径的分布范围,若是大面积的超标,就必须对1.1中的各项逐一排查。若是,局部的大粒子(0.5um以上)超标,需要排查此区域中1.1中的各项。
1.3、分析洁净度测试报告,若是小粒子(0.5um之内)的超标,需要重点排查洁净设备是否有漏点。
1.5、极小的概率是因为设计不达标,洁净设备选型出现问题。

二、洁净室局部区域各设备均正常运行,但是粒子浓度超标。
原因分析:
此种情况比较少见,大概率是洁净室局部气流组织出现了问题,形成了涡流,无法有效排出粒子,形成了类似于“鬼打墙”的状况。出现此种状况,就需要合理的统筹调整此区域的洁净设备的风速,形成梯度差,同时此区域的回风(回风口、高架地板)也需要合理调整,若涉及工艺设备,也需要谨慎评估,合理的增加洁净设备(或者减少)。

三、洁净室内某工艺设备良品率低,或者突然出现下降。
原因分析:
此种情况分析两方面,第一是先考虑是不是工艺设备区域洁净度出现了问题,其次是考虑是不是工艺制程受到了分子污染物的影响。若是第二个,需要测试污染物的浓度,而后检讨加装化学过滤器(设备)。

四、洁净室内出现异味。
原因分析:
因洁净室相对封闭,内部生产制程产生的污染气体,比如,挥发性有机物(VOCs)、酸性气体、碱性气体会累积在室内,达到一定浓度后不仅仅对工艺制程产生影响,更会对人体健康造成损害。此种状况,需要测试污染物的浓度,摸清污染源,对于有组织的污染物的排放采取有效的收集、处理、排放措施;对于无组织的,需要视情况加装化学处理机组、VOC处理机组进行室内处理,处理后的洁净气体再循环利用。

五、洁净室内噪音不达标。
原因分析:
此种情况多出现在小型、高布置率的洁净室。除非原始的洁净设备选型出现问题,一般情况下,可通过合理调节运行风速来达到可接受的噪音程度。避免此种问题的出现,最关键的是在原始的洁净室设计及设备选型上,否则,一旦出现噪音过大,基本上可调节的余量非常小。

六、其它常见问题:洁净设备风速低、不运行、过滤器泄漏、设备振动大、高效送风口边框泄漏、层流罩内部洁净度不达标等等。
原因分析:
避免这些常见的具体设备的问题,最重要的是严格遵守相关操作说明书进行安装、调试。一旦出现了问题,首先是再去按照操作说明书进行二次的安装、调试,若不能解决,请及时联系相关厂商。
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