FFU和EFU 是自带风机和过滤器的净化机组，，主要用于洁净室末端，直接为洁净室提供洁净空气，广泛应用于微电子、食品、平板显示、生物制药等对空气的污染物有极其严格要求的地方。一般洁净度在1000 级（FS209D 标准）或ISO class 6 级（IS014644 标准）以上的洁净室通常采用FFU 布局。 其中FFU主要用在厂房的顶部，水平安装，通过不断的循环，保证整个厂房处在一个较高的洁净等级。EFU主要用在厂房内的设备端，这些设备需要在局部洁净度更高的环境下运行，因此使用EFU进行二次过滤。